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AMEC UV LED 대량 생산 위한 PRISMO HiT3™ MOCVD 설비 출시

(상하이, 중국 2020년 7월 30일 PRNewswire=연합뉴스) 에이멕(Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China, AMEC)은 오늘 UV LED 생산을 위한, 유기 금속 화학증착(MOCVD) 설비 Prismo HiT3™를 출시하였다.

이 설비는 섭씨 1400도까지 공정 진행이 가능하며, 질화알루미늄(AlN)과 기타 알루미늄을 함유한 다양한 물질들을 높은 박막 균일성과 낮은 결함 등을 유지하며 증착할 수 있다. 또한, 다양한 자동화 기능들을 활용하여 파티클 발생을 최소화하고, 평균 정비 간 시간(Mean Time Between Maintenance, MTBM), 설비 가동률 등 생산성도 개선할 수 있다. 공정 1회에 2인치 웨이퍼 18매를 진행할 수 있고, 4인치 웨이퍼도 대응 가능하다.

UV 광원은 박테리아와 바이러스의 DNA를 파괴하여 재생능력을 상실케 함으로써 오랫동안 산업계 및 일반 소비자 용으로 살균, 소독, 방역에 사용되어 왔는데, 최근에 사스(SARS), 메르스(MERS)와 코로나바이러스의 연이은 발생 때문에, UV LED 제품에 대한 수요가 크게 증가하였다.

Prismo HiT3™ 설비의 첫 고객인 중국의 Jason 반도체 유한공사는 260~280nm의 파장 영역을 가진 최첨단 LED 제품들을 출시하며, 가정/의료/과학용 시장을 선도하고 있다. 이 회사의 강건(Jian Kang) 회장은 "최근에 첨단 UV LED 제품이 가정과 공공장소에서 살균 목적으로, 광범위하게 사용되는 점에 대해 자부심을 느낀다."고 말했다. 또한 "에이멕Prismo HiT3 설비를 확보함으로써 경쟁력 있는 UV LED 제품 출시에 필수적인 유지 비용 절감에 크게 도움을 얻게 되었다. 향후에도 에이멕은 세계 일류 UV LED공정 능력 확보를 위한 중요한 파트너이다."고 말했다.

이와 관련하여, 에이멕 최고운영책임자인 두지유(Zhiyou Du) 박사는 "Prismo HiT3 설비는 다양한 UV LED 제품 생산을 위해, 자동화 기능 등 여러 혁신 사양을 갖고 있다"고 말했다. 또한 "UV LED 기술을 계속 발전시키고, 인류의 보건을 위한 제품을 출시하고 있는 Jason 반도체를 고객으로 확보하고, Jason의 기술 요구를 만족시키며, 첨단 UV LED 제품 출시에 기여하고 있는 것을 기쁘게 생각한다."고 말했다.

Prismo HiT3는 AMEC의 상표명이다.

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China (AMEC, 에이멕)

에이멕은 중국의 첨단 반도체/LED 설비 업체이다. 독자적이고, 다양한 설비 솔루션을 고객들에게 제공하여, 고객의 혁신 제품 생산, 이익 창출에 기여하고 있다. 당사의 식각(etch) 장비는 5nm급 Logic 제품 생산, 120단 이상 NAND 제품 생산 등에 활용되고 있으며, MOCVD 설비는 청색광 LED 시장을 선도하고 있다. 식각과 MOCVD 분야에서, 1400대 이상의 설비가 전 세계 약 73개 첨단 공장에서 사용 중이다. 에이멕은 중국 상해에 본사가 있고, 난창과 샤먼, 그리고 국외에 한국, 일본, 싱가포르, 대만, 미국에 지사를 운영 중이다.

출처: Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China (AMEC)

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